新型的X射線熒光光譜儀都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的部位。但是有些在測量過程中出現的問題靠診斷軟件是發(fā)現不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構比較熟悉，且具有一定的維修經驗。本文介紹5種常見故障的產生原因及處理方法。

　　故障現象一

　　X射線發(fā)生器的高壓開不起來。

　　故障分析：

　　這是X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發(fā)生在開機時，偶爾也發(fā)生在儀器運行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統(tǒng);2、內部水循環(huán)冷卻系統(tǒng);3、高壓發(fā)生器及X射線光管。

　　1.1X射線防護系統(tǒng)

　　為了防止X射線泄漏，高壓發(fā)生器只有在射線防護系統(tǒng)正常的情況下才能啟動。射線防護系統(tǒng)正常與否，主要檢查以下二部分：

　　1、面板的位置是否正常。X射線熒光光譜儀是一個封閉系統(tǒng)，面板是zui外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有*合上，高壓開不起來。

　　2、X射線的警示標志是否正常。國家標準[1]規(guī)定X射線熒光光譜儀必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。

　　有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統(tǒng)引起，即將儀器的狀態(tài)設定為維修狀態(tài)，屏蔽射線防護系統(tǒng)，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統(tǒng)的問題引起的。

　　1.2內部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

　　高壓發(fā)生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產生X射線外，大部分轉化為熱能，由內部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)帶走。內循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內循環(huán)水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環(huán)水通過儀器內部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內循環(huán)水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹脂。另外，內循環(huán)水的水位過低，也會導致高壓開不起來。

　　還有一種故障現象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，產生這種故障的原因可能為內循環(huán)水的流量過小。內循環(huán)水的流量通過流量計測量，水流過流量計時，帶動流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線，產生電信號。葉輪在水中長期轉動，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤認為水流量過小而導致高壓跳掉。另外內循環(huán)水的過濾網堵塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉。

　　1.3高壓發(fā)生器及X射線光管本身

　　高壓發(fā)生器和X射線光管是儀器內zui貴重的部件，一般不會出問題。檢查高壓發(fā)生器，可將高壓發(fā)生器打開，根據電路圖，檢查各個開關是否在正常位置，看一下保險絲有沒有熔斷，再進一步的檢查由專業(yè)維修工程師來做。X射線光管是個封閉的部件，一旦損壞，只能更換，不能修理。檢查X射線光管，可檢查X射線光管與高壓電纜的連接是否正常，高壓電纜有無損壞。